上海的七月,热得像蒸笼。
赵四走下火车时,扑面而来的不只是热浪,还有一股混合着机油、铁锈和潮湿空气的工业味道。上海元件三厂。
前身是生产电子管的国营厂,现在被划给了748工程,作为第一条4位微处理器生产线的筹建地点。
厂门口挂着新牌子:“748工程上海实验基地”。字是刚刷的,白底红字,在烈日下有些刺眼。
林雪已经在门口等着了,晒得满脸通红,工装后背湿了一大片。
“赵总工!”她小跑着迎上来。
“怎么是你来接?陈启明他们呢?”赵四把简单的行李递给她。
“在车间,出事了。”林雪压低声音,“第一炉光刻,良品率……不到5%。”
赵四心里一沉:“走,去看看。”
车间是原先的电子管装配车间改造的,窗户都封死了,装了简易的空调和除尘设备。
一走进去,一股更复杂的气味扑面而来。化学试剂、臭氧、还有金属烧灼后的焦味。
陈启明、张卫东都在,还有上海本地的刘工,几个人围在一台老旧的光刻机前,脸色都很难看。
“赵总工。”陈启明看见他,嗓子哑得厉害。
“具体什么情况?”赵四没废话,直接走到工作台前。
台上摊着几片晶圆,在日光灯下泛着诡异的彩色光泽。
他拿起一片对着光看。
上面刻蚀的电路图案模糊不清,有的地方线条断了,有的地方粘连在一起,像小孩子拙劣的涂鸦。
“这是第一炉?”赵四问。
“第三炉了。”刘工苦着脸,“第一炉全军覆没,第二炉好点,有3%能用。这炉……最多5%。”
“问题出在哪?”
“不知道。”陈启明抓了抓头发,头发上沾着不知名的化学粉末,
“光刻胶不均匀?曝光时间不对?显影液浓度有问题?都有可能。我们挨个试,试了三天,还是这样。”
赵四放下晶圆,走到光刻机前。
这台机器是六十年代初从东德进口的,原本用于生产简单的晶体管。
控制面板上的德文标签已经磨损,几个旋钮的刻度都模糊了。
“机器校准过吗?”
“校准了三次。”张卫东说,“我和刘工亲自调的。光学系统我们也拆开清洁过,镜片没问题。”
“光刻胶呢?”
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